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在线名词解释大全 - 创新材料学 - 详细

下列薄膜作用错误的是

A

A.、绝缘膜有氧化硅膜，氮化硅膜等，可用作元件分离膜，栅绝缘膜，电容器介质等

B

B.、金属导体膜有铝薄膜，铜薄膜等，可用作金属布线等

C

C.、半导体膜有外延膜，多晶膜等，可用作层间电极等

D

D.、高低介电常数膜，都是用来作电容器介质膜

正确答案：

层间膜要用来隔绝布线，如果层间膜的介电常数高，就会在各布线之间形成电容，造成失真的现象发生

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薄膜下列作用错误

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