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MEMS与IC的最大区别:IC具有可动结构,利用微纳加工技术同时加工出机械结构和电路系统

题型:判断题
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正确答案:
名词解析
MEMS与IC的最大区别:MEMS具有可动结构,利用微纳加工技术同时加工出机械结构和电路系统。