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在线名词解释大全 - 微机电系统技术及应用 - 详细

以下几种静电微执行器,哪些工作在可控区域?()

A

A.DMD

B

B.GLV

C

C.RF MEMS开关

D

D.像差校正器

正确答案：

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执行器可控静电哪些区域以下工作

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